재료공정 및 시험실습
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작성일 22-11-12 03:03본문
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③ 로내를 진공분위기로 만든다.
재료공정 및 시험실습
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스퍼터링
레포트/공학기술
재료공정 및 시험실습에 대한 글입니다. 진공분위기로 만드는 방법은 먼저 rotary pump 를 통해서 10-3 Torr정도로 진공을 만든 후 …(skip)
다.설명
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재료공정 및 시험실습에 대한 글입니다. 이때 Cleanning 순서는
비눗물 세척 ⇒ 증류수 초음파 세척 ⇒ 중크롬산 용액 침전 ⇒ 고순도 에탄올 초음파 세척 ⇒ 무수 메탄올 초음파 세척의 순으로 한다.
② substrate 라고 표시된 곳에 유리를 장착한다.
3. 시험 방법
① 기판을 Cleanning 한다.스퍼터링 , 재료공정 및 시험실습공학기술레포트 ,
마그네트론 스퍼터링이란 발생된 플라즈마를 영구자석에서 발생하는 자속에 의해 집진하여 기판에 성막시키는 방법이다. 기판은 주로 유리를 사용한다.마그네트론은 타겟밑에 놓으며 인가된 전원에 따라 RF·DC 마그네트론 스퍼터링이라 한다. 이러한 집진이 이루어질 경우 전체가 발생한 플라즈마는 균일하게 되어 결과적으로 균일한 박막을 제조할 수 있다 영구자석은 NbFeB계가 주로 사용되며 과거에는 링형태를 여러개 합쳐서 제조하였지만 현재는 평판형태로 제작한다.